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第四章激光衍射测量分析.ppt

单衍射狭缝测量原理单缝衍射特征:1)的亮线的中心是一个开放的图案的宽度的宽度的其它级别的最亮的和最广泛两次二次发射线强度用顺序增加。3)当Δ光路的差值不等于λ/ 2时。
它是一个整数倍,亮度介于最亮和最暗之间。
4)条带的方向平行于狭缝的方向。5)暗条纹β=kπ是单缝测量的开始。如果θ不大,则存在单个狭缝测量原理。可以得出以下结论:可以计算确定L和Xk的尺寸的槽b的宽度尺寸Xk并计算L的尺寸。可以反映插槽变化执行在线测量。该表达式表明暗条纹色调是固定值。通过测量条纹间隔,也可以测量前一个值。间隙测量方法主要基于单切衍射原理。当测量特定暗带的距离时,通过以下公式计算测量的尺寸。
要点:尺寸,地形,尺寸的比较
传感器可以测量电压/电压,温度,压力,加速度等。在通过分离测量方法测量暗带的位置之后,使用衍射方程计算变化量。
还可以通过计算特定位置(固定衍射角)和衍射条纹数量的变化数来计算第一类型。在绝对测量方法中,第二种是增量测量方法,间隙测量方法基本上是间隙测量装置。由被叫分离空间方法原理的参考对象和测量两个空间分离而形成衍射条纹样品的平面不完全如何:出现在P1暗状态:2。出现分离空间方法P2的暗区。条件:2,分离分离方法的应用实例:3,互补筛选方法4。
Bachene的互补测量方法3.互补筛选方法因此,细丝和细条用于衍射测量。通过互补测量方法测量的细丝直径范围通常为零。
0.01?0。
测量精度可达Lmm,0
单缝隙测量容量05um的测量分辨率反映了测量的最小分辨率。级数越高,L越高,波长越长,分辨率越高。单缝测量的测量精度是由最大10-6的激光频率的整体稳定性,波长的影响可以考虑环境因素的影响时被忽略。一般测量值可能达到±0。
5um b的测量范围越小,衍射b越小,XK越大,光强度分布越弱,β越大。多个辅助子带为高,越b为大,越XK小,带材小的多,传感器的位置变得容易,灵敏度Lb2的/λ被降低时,大小的限制被降低。测量范围基本上决定了屏幕上测量的光强度。J1是主X的贝塞尔函数。来自第一顺序的贝塞尔函数的零位置如下。
83,7
02.10
17 ......艾里点的大小如下。艾里集中精力占能量的84%5。测量方法爱丽点是基于一个圆孔的Fraunhofer衍射原理,互补屏可以直接测量直径可以间接通过能量法来测量:两个重叠时间,对应于完全不透明的互补黑色屏幕的衍射图案完全相同,除了相位差的差异。也就是说,交换明亮和暗带的位置。
这是使用狭缝衍射公式计算长丝直径的基本原理。
通常,假设d的宽度为0。
01 mm - 0 5 mm圆孔衍射光学系统的衍射现象,分解通过圆形孔径的圆形衍射光,称为圆孔衍射。
首先,丈夫圆孔和涂鸦的衍射1。
圆孔衍射装置2。
弗劳恩霍夫衍射现象圆孔
该中心有一个特别明亮的圆形斑点,集中了总衍射光强度的84%。
它被称为中心亮点,还是爱情点?
两侧设有一系列同心环,亮环和暗环同相排列。
亮环的强度是否迅速下降?
亮线和暗线的宽度与半径不一致。
这是因为强度的圆形孔的上半带光源的光源不同的区域是不同的,因为对应于相同的衍射角的有效区域是不同的。
实验表明,可见光在穿过不同校准器的透镜时也会产生类似于圆孔的衍射。惠更斯 - 菲涅耳的原理仍然可以解释这个原理。
艾烈:第一个黑圈所覆盖的区域。
常用测试设备的分辨率是第一步中暗线的衍射角。
衍射分析类似于简单的凹槽衍射分析,圆孔衍射具有以下特征:其中D是圆孔的半径。
角度θ1是艾里斑的圆角半径。
当镜头的焦距非常大时:Ai Lie点的半径如下。从顶部:增加圆孔的直径并减少艾列的点。减少光波的波长并减少艾列的点。当观察一个小物体时,它不仅必须有一些放大,而且还要具有足够的识别能力,以便实现清晰的观察。
然而,由于光的衍射效应,物体的图像具有一定的艾力大小,并且在其周围存在模糊的标记。由太近的对象生成的图像无法通过重叠来区分。
瑞利可以区分两点的标准是爱丽丝的中心只是爱丽丝的另一个边缘。
无法区分的最小分辨率角度相对于可在两个物点处分辨的镜头光学中心的最小孔径角度称为最小分辨率角度。
显然,最小分辨率角度是眼睑的半径。分辨率分辨率的倒数称为光学设备的分辨率。**示例1在正常光照条件下,人眼瞳孔的直径约为3mm。人眼的最小分解角是多少?
当屏幕上两条线之间的距离为2时
0毫米,离开屏幕窗口时你可以分辨多少?
[解决方案]:人眼对黄绿光敏感,需要λ= 550 nm离开线

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